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http://dx.doi.org/10.18419/opus-4422
| Autor(en): | Boebel, Doris Packroß, Bernd Tiziani, Hans J. |
| Titel: | Phase shifting in an oblique incidence interferometer |
| Erscheinungsdatum: | 1991 |
| Dokumentart: | Zeitschriftenartikel |
| Erschienen in: | Optical engineering 30 (1991), S. 1910-1914 |
| URI: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-62490 http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4439 http://dx.doi.org/10.18419/opus-4422 |
| Zusammenfassung: | The evaluation of the interference pattern of a prism interferometer by a phase-stepping technique is described. The required phase shift is achieved by moving the surface under test perpendicular to the hypotenuse of the prism. Limits of this phase-shifting technique are discussed. A calibration method of the phase shift between the interferograms for the adjustable sensitivity of the interferometer is shown. Finally measurements of technical surfaces are presented. |
| Enthalten in den Sammlungen: | 07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik |
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