07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik
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Item Open Access Dual wavelength heterodyne interferometry for rough surface measurements(1990) Fischer, Edgar; Sodnik, Zoran; Ittner, Thomas; Tiziani, Hans J.For interferometric topography measurements of optically rough surfaces dual wavelength heterodyne Interferometry (DWHI) is a powerful tool. A DWHI system based on a two-wavelength HeNe laser and a matched grating technique is described. This set-up improves system stability and simple heterodyne frequency generation.Item Open Access Doppelheterodyn-Interferometrie für hochgenaue Vermessung im Nahbereich(1992) Fischer, Edgar; Dalhoff, Ernst; Ittner, Thomas; Sodnik, Zoran; Tiziani, Hans J.In diesem Aufsatz wurde ein Meßsystem vorgestellt, welches sich aus der Kombination der Zweiwellenlängen-Interferometrie mit dem intensitätsunabhängigen Heterodyn-Verfahren zusammensetzt. Die resultierende Doppelheterodyn-Interferometrie vereinigt die Vorteile der beiden Verfahren. Ein großer Eindeutigkeitsbereich entsprechend der effektiven Wellenlänge A entsteht, darüberhinaus sind optisch rauhe Oberflächen als Meßobjekte zulässig; reduzierte Empfindlichkeit gegenüber Vibrationen und Umwelteinflüssen, hohe Auflösung infolge elektronischer Phasenbestimmung sowie hochgenaue Abstandsmessung in Echtzeit sind weitere Vorteile. Das Doppelheterodyn-Interferometer wird in Zukunft zu einem effektiven und dynamischen Meßinstrument zur hochgenauen Entfernungsmessung im Mikrometerbereich bis hin zu Meßdistanzen von 100 m entwickelt werden, für das sich schon jetzt zahlreiche Einsatzmöglichkeiten abzeichnen.Item Open Access Dual wavelength heterodyne interferometry using a matched grating set-up(1992) Fischer, Edgar; Ittner, Thomas; Dalhoff, Ernst; Sodnik, Zoran; Tiziani, Hans J.Two-wavelength double heterodyne interferometry is applied for topographic measurements on rough target surfaces. A two-wavelength HeNe laser and a matched grating technique are used to improve system stability and to simplify heterodyne frequency generation. Results obtained with an experimental set-up will be presented. The results obtained show that a dual wavelength heterodyne interferometer is appropriate for high precision ranging. Progressing developments for large distances will be discussed.