(1987) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.
Es werden moderne optische Verfahren zur berührungslosen Oberflächentopographie und Rauheitsmessung beschrieben und ihre Leistungsfähigkeit anhand neuerer Messungen und Analysen diskutiert. Dabei werden zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, eine schnelle 3-D-Darstellung der Oberflächentopographie mit automatischer Interferenzstreifenauswertung, kohärente Streuverfahren und ein integrales Weißlicht-Kohärenzverfahren ausführlich behandelt. Außerdem werden eine neue Doppelpaß-Strahlenführung und Ausdrücke für die Erfassung der Lateralauflösung in Abhängigkeit von der numerischen Apertur und dem Ausleuchtungsverhältnis angegeben.
