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http://dx.doi.org/10.18419/opus-4334
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DC Element | Wert | Sprache |
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dc.contributor.author | Leonhardt, Klaus | de |
dc.contributor.author | Rippert, Karl-Heinz | de |
dc.contributor.author | Tiziani, Hans J. | de |
dc.date.accessioned | 2011-02-24 | de |
dc.date.accessioned | 2016-03-31T08:16:26Z | - |
dc.date.available | 2011-02-24 | de |
dc.date.available | 2016-03-31T08:16:26Z | - |
dc.date.issued | 1987 | de |
dc.identifier.other | 346712238 | de |
dc.identifier.uri | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61065 | de |
dc.identifier.uri | http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4351 | - |
dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.18419/opus-4334 | - |
dc.description.abstract | Es werden moderne optische Verfahren zur berührungslosen Oberflächentopographie und Rauheitsmessung beschrieben und ihre Leistungsfähigkeit anhand neuerer Messungen und Analysen diskutiert. Dabei werden zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, eine schnelle 3-D-Darstellung der Oberflächentopographie mit automatischer Interferenzstreifenauswertung, kohärente Streuverfahren und ein integrales Weißlicht-Kohärenzverfahren ausführlich behandelt. Außerdem werden eine neue Doppelpaß-Strahlenführung und Ausdrücke für die Erfassung der Lateralauflösung in Abhängigkeit von der numerischen Apertur und dem Ausleuchtungsverhältnis angegeben. | de |
dc.description.abstract | Recent optical techniques for microtopography and roughness measurements are examined, particularly two methods for high-resolution microprofilometry, a fast 3-dimensional representation of the topography by automated interferogram analysis, coherent scattering methods and a white light coherence method for integral roughness measurement. In addition a double-pass scheme for profilometry and some expressions for lateral resolution in terms of numerical aperture and aperture ratio are introduced. | en |
dc.language.iso | de | de |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | de |
dc.subject.classification | Profil <Oberfläche> , Speckle-Interferometrie | de |
dc.subject.ddc | 530 | de |
dc.title | Optische Mikroprofilometrie und Rauheitsmessung | de |
dc.title.alternative | Optical microprofilometry and roughness measurement | en |
dc.type | article | de |
ubs.fakultaet | Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik | de |
ubs.institut | Institut für Technische Optik | de |
ubs.opusid | 6106 | de |
ubs.publikation.source | Technisches Messen 54 (1987), S. 243-252 | de |
ubs.publikation.typ | Zeitschriftenartikel | de |
Enthalten in den Sammlungen: | 07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik |
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