Phase shifting in an oblique incidence interferometer

Boebel, Doris; Packroß, Bernd; Tiziani, Hans J.

Bitte benutzen Sie diese Kennung, um auf die Ressource zu verweisen: http://dx.doi.org/10.18419/opus-4422

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DC Element	Wert	Sprache
dc.contributor.author	Boebel, Doris	de
dc.contributor.author	Packroß, Bernd	de
dc.contributor.author	Tiziani, Hans J.	de
dc.date.accessioned	2011-04-01	de
dc.date.accessioned	2016-03-31T08:16:42Z	-
dc.date.available	2011-04-01	de
dc.date.available	2016-03-31T08:16:42Z	-
dc.date.issued	1991	de
dc.identifier.other	349969787	de
dc.identifier.uri	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-62490	de
dc.identifier.uri	http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4439	-
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.18419/opus-4422	-
dc.description.abstract	The evaluation of the interference pattern of a prism interferometer by a phase-stepping technique is described. The required phase shift is achieved by moving the surface under test perpendicular to the hypotenuse of the prism. Limits of this phase-shifting technique are discussed. A calibration method of the phase shift between the interferograms for the adjustable sensitivity of the interferometer is shown. Finally measurements of technical surfaces are presented.	en
dc.language.iso	en	de
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	de
dc.subject.classification	Phasenverschiebung , Interferometrie	de
dc.subject.ddc	620	de
dc.title	Phase shifting in an oblique incidence interferometer	en
dc.type	article	de
ubs.fakultaet	Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik	de
ubs.fakultaet	Fakultätsübergreifend / Sonstige Einrichtung	de
ubs.institut	Institut für Technische Optik	de
ubs.institut	Sonstige Einrichtung	de
ubs.opusid	6249	de
ubs.publikation.source	Optical engineering 30 (1991), S. 1910-1914	de
ubs.publikation.typ	Zeitschriftenartikel	de
Enthalten in den Sammlungen:	07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik

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