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| High resolution electron beam lithography : an improved understanding of a versatile lithography technique | 705 |
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| High resolution electron beam lithography : an improved understanding of a versatile lithography technique | 5 | 6 | 2 | 8 | 12 | 13 | 12 |
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| Diss.pdf | 304 |
Häufigste Länder
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| Deutschland | 327 |
| Vereinigte Staaten | 108 |
| China | 97 |
| Frankreich | 28 |
| Irland | 24 |
| Singapur | 17 |
| Vereinigtes Königreich | 10 |
| Kanada | 9 |
| Russland | 7 |
| Schweden | 7 |
Häufigste Städte
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|---|---|
| Frankfurt am Main | 143 |
| Stuttgart | 46 |
| Ashburn | 45 |
| Berlin | 24 |
| Guangzhou | 23 |
| Dublin | 17 |
| Shanghai | 14 |
| Beijing | 12 |
| Singapore | 9 |
| Konstanz | 8 |