Speckleverfahren zur absoluten Abstandsmessung

Hege, Günter; Tiziani, Hans J.

Speckleverfahren zur absoluten Abstandsmessung

dc.contributor.author	Hege, Günter	de
dc.contributor.author	Tiziani, Hans J.	de
dc.date.accessioned	2011-02-24	de
dc.date.accessioned	2016-03-31T08:16:26Z
dc.date.available	2011-02-24	de
dc.date.available	2016-03-31T08:16:26Z
dc.date.issued	1987	de
dc.description.abstract	Eine ausführliche Untersuchung möglicher Speckleverfahren zur absoluten Abstandsmessung von rauhen Oberflächen hat gezeigt, daß eine axiale Auflösung im Submikrometerbereich nur durch Auswerten der lateralen Specklegeschwindigkeit möglich ist. Hierzu wird bei ruhendem Objekt ein fokussierter Laserstrahl akustooptisch um 0,2 mm periodisch ausgelenkt. Die entstehende Specklebewegung wird von einem Gittersensor erfaßt und von einem Zählprozessor bewertet.	de
dc.description.abstract	A thorough treatment of possible speckle techniques for absolute distance measurement has shown that submicrometer resolution or even accuracy is achievable only by measuring lateral speckle velocity. The object beeing at rest lateral excursions of the focused laser beam need to be only 0.2 mm and are obtained by means of a fast and solid state acoustooptic deflector. The resulting speckle motion is detected by a differential phase grating sensor and measured by a counter processor.	en
dc.identifier.other	346717183	de
dc.identifier.uri	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61046	de
dc.identifier.uri	http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4350
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.18419/opus-4333
dc.language.iso	de	de
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	de
dc.subject.classification	Speckle-Interferometrie , Abstandsmessung	de
dc.subject.ddc	530	de
dc.title	Speckleverfahren zur absoluten Abstandsmessung	de
dc.title.alternative	Speckle techniques for absolute distance measurement	en
dc.type	article	de
ubs.fakultaet	Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik	de
ubs.institut	Institut für Technische Optik	de
ubs.opusid	6104	de
ubs.publikation.source	Technisches Messen 54 (1987), S. 237-242	de
ubs.publikation.typ	Zeitschriftenartikel	de

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