Contouring using two-wavelength electronic speckle pattern interferometry employing dual-beam illuminations

Diao, Hongyan; Peng, Xiang; Zou, Yunlu; Tiziani, Hans J.; Chen, L.

Contouring using two-wavelength electronic speckle pattern interferometry employing dual-beam illuminations

dc.contributor.author	Diao, Hongyan	de
dc.contributor.author	Peng, Xiang	de
dc.contributor.author	Zou, Yunlu	de
dc.contributor.author	Tiziani, Hans J.	de
dc.contributor.author	Chen, L.	de
dc.date.accessioned	2011-03-17	de
dc.date.accessioned	2016-03-31T08:16:31Z
dc.date.available	2011-03-17	de
dc.date.available	2016-03-31T08:16:31Z
dc.date.issued	1992	de
dc.description.abstract	Es wird eine neue Konturing-Methode mit einer elektronischen Zweiwellenlängen-Speckle-Interferometrie (TWESPI) vorgeschlagen, bei der zwei Beleuchtungsstrahlen verwendet werden. Die optisch rauhe Oberfläche wird bei einer synthetischen längeren equivalenten Wellenlänge vermessen, so daß durch die Änderung der Wellenlängen eine variable Meßempfindlichkeit erhalten werden kann. Dadurch erweitert diese Technik den Meßbereich der Einwellen-Speckle-Interferometrie und erlaubt die Messung von Konturen steiler Profile als bisher mit der Einwellenlängen-Methode möglich war.	de
dc.description.abstract	A new contouring technique using two-wavelength electronic speckle pattern interferometry (TWESPI) employing dual-beam illuminations is proposed. This technique extents the measurement range of single-wavelength electronic speckle pattern interferometry and allows the measurment of profiles of the steeper surfaces than has preciously been possible with a single-wavelength.	en
dc.identifier.other	349034605	de
dc.identifier.uri	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61591	de
dc.identifier.uri	http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4375
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.18419/opus-4358
dc.language.iso	en	de
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	de
dc.subject.classification	Speckle-Interferometrie , Laser	de
dc.subject.ddc	530	de
dc.title	Contouring using two-wavelength electronic speckle pattern interferometry employing dual-beam illuminations	en
dc.title.alternative	Konturing mit elektronischer Zwei-Wellenlängen-Speckle-Interferometrie mit Beleuchtung von zwei Strahlen	en
dc.type	article	de
ubs.fakultaet	Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik	de
ubs.fakultaet	Fakultätsübergreifend / Sonstige Einrichtung	de
ubs.institut	Institut für Technische Optik	de
ubs.institut	Sonstige Einrichtung	de
ubs.opusid	6159	de
ubs.publikation.source	Optik 91 (1992), S. 19-23	de
ubs.publikation.typ	Zeitschriftenartikel	de

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