Messsysteme für Sauerstoff-Sensoren auf Basis von Festkörperelektrolyten

Abstract

Diese Dissertation thematisiert amperometrische Festkörperelektrolytsensoren zur O2-Messung im Vakuum. Ausgehend von einem technischen Stand siebdruckgefertigter Sensoren, werden deren Charakteristiken aufgezeigt. Insbesondere eine auftretende Sensordrift wird analysiert und durch technische Maßnahmen im Zuge einer Sensorüberarbeitung behoben. In diesem Kontext wird die Standardisierung und flexible Automatisierung von Sensorcharakterisierungen mithilfe von LabView unter Verwendung eines FPGA-Chips entwickelt. Im Zuge der Untersuchungen werden mit einem lithographiegestützen Sputterprozess und dem Tintenstrahldruck auch alternative Fertigungsmethoden aufgezeigt. Für den Tintenstrahldruck wird zusätzlich ein neues Verfahren zur Fertigung der Funktionsschichten auf Basis von Simulationsmethoden zur Steigerung der Schichtqualität etabliert.