Methodik zur Produktentwicklung in der Mikrosystemtechnik

Abstract

Diese Arbeit beschreibt eine Methodik, die den Entwicklungsablauf für Produkte in der Mikrosystemtechnik unterstützt. Neben einem Vorgehensmodell werden spezielle Methoden erläutert, die den Entwickler bei der Entwicklung von Mikrosystemen unterstützen. This thesis describes a methodology supporting the development of MEMS products. A procedure modell and specific methods for the development of MEMS are illustrated.