Design consideration of a dual-beam ESPI optical system for contouring

Diao, Hongyan; Zou, Yunlu; Tiziani, Hans J.

Design consideration of a dual-beam ESPI optical system for contouring

dc.contributor.author	Diao, Hongyan	de
dc.contributor.author	Zou, Yunlu	de
dc.contributor.author	Tiziani, Hans J.	de
dc.date.accessioned	2011-03-21	de
dc.date.accessioned	2016-03-31T08:16:32Z
dc.date.available	2011-03-21	de
dc.date.available	2016-03-31T08:16:32Z
dc.date.issued	1993	de
dc.date.updated	2011-08-25	de
dc.description.abstract	A discussion of the essential technical advantages, limitations, various kinds of errors and required characteristics of dual-beam illumination ESPI optical system by tilting illuminations for contouring is attached. Attractive features are the simplification of the optical system, the stationary reference contour planes and the possibility of adjusting various parameters for contouring.	en
dc.description.abstract	Eine Diskussion der wichtigen technischen Vorteile, Begrenzungen, verschiedene Fehlerquellen und notwendige Charakteristiken des optischen Zweistrahl-ESPl-Systems bei schräger Beleuchtung wird vorgestellt. Attraktive Eigenschaften sind die Vereinfachung der optischen Systeme, die stationären Kontur-Referenzebenen, und die Möglichkeit der Justierung verschiedener Parameter an die Konturierung.	de
dc.identifier.other	349399573	de
dc.identifier.uri	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61813	de
dc.identifier.uri	http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4383
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.18419/opus-4366
dc.language.iso	en	de
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	de
dc.subject.classification	Speckle-Interferometrie , Laser	de
dc.subject.ddc	620	de
dc.title	Design consideration of a dual-beam ESPI optical system for contouring	en
dc.type	article	de
ubs.fakultaet	Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik	de
ubs.institut	Institut für Technische Optik	de
ubs.opusid	6181	de
ubs.publikation.source	Optik 93 (1993), S. 45-51	de
ubs.publikation.typ	Zeitschriftenartikel	de

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