Auslegung von Kompensationssystemen zur interferometrischen Prüfung asphärischer Flächen

Abstract

Bei der interferometrischen Prüfung rotationssymmetrischer asphärischer Flächen werden sogenannte Kompensationssysteme verwendet, deren Anpassung an die Asphäre wegen zusätzlicher Verwendung eines Computerhologramms nur näherungsweise erforderlich ist. Beschrieben wird das Vorgehen für den Gaussischen und Seidelschen Entwurf eines ein- und zweilinsigen Kompensationssystems: Die von Einzellinsen abgedeckten Kegelschnittbereiche und Beispiele für die Erweiterung der Bereiche durch zweilinsige Systeme werden diskutiert. An einem Beispiel wird gezeigt, daß bei Abbildung der asphärischen Fläche in das Computerhologramm oftmals eine Gaussische Auslegung genügt. Es werden Beispiele und Hinweise zur Auslegung bei starken Asphären gegeben. In the interferometric testing of rotational symmetrie surfaces compensation-systems are used. Their wavefronts - since an additional computer-generated hologram is used - have to fit the aspherical surfaces only approximately. The design of single- and double-Iens systems in first- and third-order layout is reported. Regions for the conic constants to be tested by single lenses as well as examples for double-lens systems are discussed. When imaging the aspherical surface onto the computer-generated hologram first-order layout is often sufficient. Examples and descriptions of system designs for strong aspheries are given.