Doppelheterodyn-Interferometrie für hochgenaue Vermessung im Nahbereich

Abstract

In diesem Aufsatz wurde ein Meßsystem vorgestellt, welches sich aus der Kombination der Zweiwellenlängen-Interferometrie mit dem intensitätsunabhängigen Heterodyn-Verfahren zusammensetzt. Die resultierende Doppelheterodyn-Interferometrie vereinigt die Vorteile der beiden Verfahren. Ein großer Eindeutigkeitsbereich entsprechend der effektiven Wellenlänge A entsteht, darüberhinaus sind optisch rauhe Oberflächen als Meßobjekte zulässig; reduzierte Empfindlichkeit gegenüber Vibrationen und Umwelteinflüssen, hohe Auflösung infolge elektronischer Phasenbestimmung sowie hochgenaue Abstandsmessung in Echtzeit sind weitere Vorteile. Das Doppelheterodyn-Interferometer wird in Zukunft zu einem effektiven und dynamischen Meßinstrument zur hochgenauen Entfernungsmessung im Mikrometerbereich bis hin zu Meßdistanzen von 100 m entwickelt werden, für das sich schon jetzt zahlreiche Einsatzmöglichkeiten abzeichnen.