Ljutovic, Abram SrulevicLudwig, Sören (Übersetzerin)Pertschi, Ottmar (Übersetzer)2013-02-192016-03-312013-02-192016-03-311999381023184http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-82081http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/6437http://dx.doi.org/10.18419/opus-6420Hier werden charakteristische Forschungsergebnisse verschiedener Autoren dargestellt, die die Vorgänge der Metallschichtabscheidung und Kristallisation von Halbleiter-Epitaxieschichten aus Ionenmolekularströmen untersucht haben. Dabei widmen wir den Untersuchungen zum Wachstum von Halbleiter-Einkristallschichten besondere Aufmerksamkeit.deinfo:eu-repo/semantics/openAccessIon , Epitaxie530report