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Simulationsbaukasten für die Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung : ein Beitrag zur wirtschaftlichen Planung, Auslegung und Optimierung automatisierter Materialflusssysteme
(2005) Bader, Uwe; Westkämper, Engelbert (Univ.-Prof. Dr.-Ing. Prof. E.h. Dr.-Ing. E.h. Dr. h.c. mult.)
Die vorliegende Arbeit leistet einen grundlegenden Beitrag für die wirtschaftliche Planung, Auslegung und Optimierung automatisierter Materialflusssysteme in der Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung. Die Zielsetzung der Promotion war die Entwicklung eines Simulationsbaukastens, mit dem aussagefähige Ergebnisse für eine wirtschaftliche Planung, Auslegung und Optimierung automatisierter Transport-, Speicher- und Handhabungssysteme unter Berücksichtigung der vorgegebenen Zielkriterien und der speziellen Fertigungsbedingungen schnell und detailliert ermittelt werden können. Der Simulationsbaukasten wurde auf der Basis der entwickelten Ablaufstrukturen realisiert. Durch die Definition einer realitätsgetreuen Modellfabrik und die Nutzung des Simulationsbaukastens als Experimentierplattform konnten unterschiedliche Szenarien zur Optimierung automatisierter Materialflusssysteme simuliert und die erzielten Ergebnisse ausgewertet werden. Zum Nachweis der Anwendbarkeit wurde der entwickelte Simulationsbaukasten bei der Planung, Auslegung und Optimierung der automatisierten Materialflusssysteme in einer Halbleiterfertigung eingesetzt und seine Leistungs- und Funktionsfähigkeit nachgewiesen. Die Anwendung der durchgeführten Leistungsbewertungen sowie der entwickelten Lösungskonzepte und Leitlinien ermöglichten die wirtschaftliche und bedarfsentsprechende Planung und Auslegung der automatisierten Transport-, Speicher- und Handhabungssysteme. Anhand der entwickelten Strategien wurden die automatisierten Materialflusssysteme optimiert und die Funktionsfähigkeit des Gesamtsystems und der einzelnen Teilsysteme aufeinander abgestimmt. Der entwickelte Simulationsbaukasten leistet in Verbindung mit den durchgeführten Leistungsbewertungen, den entwickelten Lösungskonzepten sowie den abgeleiteten Leitlinien und Optimierungsstrategien einen unverzichtbaren Beitrag für die wirtschaftliche und bedarfsentsprechende Automatisierung der Materialflusssysteme in der Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung.