Auflistung nach Autor Pauly, Steffen
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Erscheinungsdatum | Titel | Autor(en) |
---|---|---|
2024 | Modellierung und Diagnostik einer Remote-Mikrowellen-Plasmaquelle zum Hochrateätzen | Pauly, Steffen |
Erscheinungsdatum | Titel | Autor(en) |
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2024 | Modellierung und Diagnostik einer Remote-Mikrowellen-Plasmaquelle zum Hochrateätzen | Pauly, Steffen |