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Auflistung nach Institut Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)
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Titel
Autor(en)
2003
Die SOI Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium Membranmasken
Butschke, Jörg
2020
Spatial ultrasound modulation by digitally controlling microbubble arrays
Ma, Zhichao
;
Melde, Kai
;
Athanassiadis, Athanasios G.
;
Schau, Michael
;
Richter, Harald
;
Qiu, Tian
;
Fischer, Peer
2007
Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik
Pritschow, Marcus