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Autor(en): Augel, Lion
Titel: Plasmonische Strukturen auf Ge-Photodioden zur Integration von kollinearen Biosensoren
Erscheinungsdatum: 2019
Dokumentart: Dissertation
Seiten: 146
URI: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-105162
http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/10516
http://dx.doi.org/10.18419/opus-10499
Zusammenfassung: Die Arbeit betrachtet unterschiedliche integrierte kollineare refraktive plasmonische Sensoren auf der Basis von Ge-Photodioden. Die plasmonischen Strukturen werden dabei in silizium-kompatibler Technologie direkt auf der Photodiode realisiert. Anhand des Herstellungsablaufs und elektro-optischer Messungen wird die Eignung der einzelnen Konzepte hinsichtlich der Anwendbarkeit in der refraktiven Biosensorik diskutiert.
Enthalten in den Sammlungen:05 Fakultät Informatik, Elektrotechnik und Informationstechnik

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