Untersuchung der CMOS-kompatiblen Materialien Aluminium, Nickel, Titan, Germanium und Germanium-Zinn für plasmonische Anwendungen

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DC Element	Wert	Sprache
dc.contributor.advisor	Schulze, Jörg (Prof. Dr. habil.)	-
dc.contributor.author	Berkmann, Fritz	-
dc.date.accessioned	2023-03-13T15:25:48Z	-
dc.date.available	2023-03-13T15:25:48Z	-
dc.date.issued	2022	de
dc.identifier.other	1839064730	-
dc.identifier.uri	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-128298	de
dc.identifier.uri	http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/12829	-
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.18419/opus-12810	-
dc.description.abstract	In dieser Arbeit wurden mehrere Materialien auf ihre Tauglichkeit für plasmonische Anwendungen untersucht. Dazu wurden Kammantennen aus Ge/GeSn sowie Nickel und Titan hergestellt und auf ihre Eignung als Pixel für thermographische Anwendungen untersucht. Zudem wurden Aluminium-Nanolochgitter hergestellt, welche als Brechungsindexsensoren und Biosensoren eingesetzt werden können.	de
dc.language.iso	de	de
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	de
dc.subject.ddc	500	de
dc.title	Untersuchung der CMOS-kompatiblen Materialien Aluminium, Nickel, Titan, Germanium und Germanium-Zinn für plasmonische Anwendungen	de
dc.type	doctoralThesis	de
ubs.dateAccepted	2022-11-18	-
ubs.fakultaet	Informatik, Elektrotechnik und Informationstechnik	de
ubs.institut	Institut für Halbleitertechnik	de
ubs.publikation.seiten	lvii, 148	de
ubs.publikation.typ	Dissertation	de
ubs.thesis.grantor	Informatik, Elektrotechnik und Informationstechnik	de
Enthalten in den Sammlungen:	05 Fakultät Informatik, Elektrotechnik und Informationstechnik

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