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Autor(en): Schellander, Yannick
Winter, Marius
Schamber, Maurice
Munkes, Fabian
Schalberger, Patrick
Kuebler, Harald
Pfau, Tilman
Fruehauf, Norbert
Titel: Ultraviolet photodetectors and readout based on a‐IGZO semiconductor technology
Erscheinungsdatum: 2023
Dokumentart: Zeitschriftenartikel
Seiten: 363-372
Erschienen in: Journal of the Society for Information Display 31 (2023), S. 363-372
URI: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-136575
http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/13657
http://dx.doi.org/10.18419/opus-13638
ISSN: 1071-0922
1938-3657
Zusammenfassung: In this work, real-time ultraviolet photodetectors are realized through metal–semiconductor–metal (MSM) structures. Amorphous indium gallium zinc oxide (a-IGZO) is used as semiconductor material and gold as metal electrodes. The readout of an individual sensor is implemented by a transimpedance amplifier (TIA) consisting of an all-enhancement a-IGZO thin-film transistor (TFT) operational amplifier and a switched capacitor (SC) as feedback resistance. The photosensor and the transimpedance amplifier are both manufactured on glass substrates. The measured photosensor possesses a high responsivity R, a low response time tRES, and a good noise equivalent power value NEP.
Enthalten in den Sammlungen:05 Fakultät Informatik, Elektrotechnik und Informationstechnik

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