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| Modellierung eines Plasmaätzverfahrens am Beispiel der Ätzung einer Siliziumoberfläche durch ein Chlor/Argon Plasma | 860 |
Gesamtzugriffe pro Monat
| Januar 2024 | Februar 2024 | März 2024 | April 2024 | Mai 2024 | Juni 2024 | Juli 2024 | |
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| Modellierung eines Plasmaätzverfahrens am Beispiel der Ätzung einer Siliziumoberfläche durch ein Chlor/Argon Plasma | 9 | 6 | 9 | 15 | 19 | 9 | 15 |
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| Dissertation_Nold.pdf | 439 |
Häufigste Länder
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| Deutschland | 600 |
| Vereinigte Staaten | 106 |
| China | 51 |
| Irland | 20 |
| Schweden | 13 |
| Vereinigtes Königreich | 10 |
| Russland | 9 |
| Österreich | 6 |
| Frankreich | 4 |
| Schweiz | 3 |
Häufigste Städte
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| Frankfurt am Main | 343 |
| Holzhau | 54 |
| Ashburn | 49 |
| Berlin | 28 |
| Tianjin | 25 |
| Beijing | 17 |
| Dublin | 16 |
| Kassel | 13 |
| Karlsruhe | 10 |
| Southend | 7 |