Optische Mikroprofilometrie und Rauheitsmessung

Abstract

Es werden moderne optische Verfahren zur berührungslosen Oberflächentopographie und Rauheitsmessung beschrieben und ihre Leistungsfähigkeit anhand neuerer Messungen und Analysen diskutiert. Dabei werden zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, eine schnelle 3-D-Darstellung der Oberflächentopographie mit automatischer Interferenzstreifenauswertung, kohärente Streuverfahren und ein integrales Weißlicht-Kohärenzverfahren ausführlich behandelt. Außerdem werden eine neue Doppelpaß-Strahlenführung und Ausdrücke für die Erfassung der Lateralauflösung in Abhängigkeit von der numerischen Apertur und dem Ausleuchtungsverhältnis angegeben.

Recent optical techniques for microtopography and roughness measurements are examined, particularly two methods for high-resolution microprofilometry, a fast 3-dimensional representation of the topography by automated interferogram analysis, coherent scattering methods and a white light coherence method for integral roughness measurement. In addition a double-pass scheme for profilometry and some expressions for lateral resolution in terms of numerical aperture and aperture ratio are introduced.