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http://dx.doi.org/10.18419/opus-4377
Autor(en): | Fischer, Edgar Sodnik, Zoran Ittner, Thomas Tiziani, Hans J. |
Titel: | Dual wavelength heterodyne interferometry for rough surface measurements |
Erscheinungsdatum: | 1990 |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag |
Erschienen in: | Lanzl, F. (Hrsg.): Optics in complex systems : Proceedings of the 15th Congress of the International Commission for Optics. Bellingham, Wash. : SPIE, 1990 (Proceedings / SPIE 1319). - ISBN 0-8194-0380-6, S. 570-571 |
URI: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61433 http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4394 http://dx.doi.org/10.18419/opus-4377 |
Zusammenfassung: | For interferometric topography measurements of optically rough surfaces dual wavelength heterodyne Interferometry (DWHI) is a powerful tool. A DWHI system based on a two-wavelength HeNe laser and a matched grating technique is described. This set-up improves system stability and simple heterodyne frequency generation. |
Enthalten in den Sammlungen: | 07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik |
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