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| Die SOI Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium Membranmasken | 786 |
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| November 2023 | Dezember 2023 | Januar 2024 | Februar 2024 | März 2024 | April 2024 | Mai 2024 | |
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| Die SOI Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium Membranmasken | 4 | 11 | 12 | 18 | 11 | 12 | 4 |
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Häufigste Länder
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| Deutschland | 579 |
| Vereinigte Staaten | 91 |
| China | 36 |
| Irland | 24 |
| Russland | 6 |
| Vereinigtes Königreich | 5 |
| Schweden | 5 |
| Frankreich | 4 |
| Kanada | 3 |
| Finnland | 3 |
Häufigste Städte
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| Frankfurt am Main | 344 |
| Holzhau | 60 |
| Berlin | 49 |
| Ashburn | 45 |
| Dublin | 21 |
| Stuttgart | 12 |
| Kassel | 11 |
| Boardman | 10 |
| Beijing | 9 |
| Karlsruhe | 9 |