Erfassung und Modellierung komplexer Funktionsfehler in Mikroelektronik-Bauelementen

Abstract

Es wird ein Verfahren vorgestellt, das für die Grundzellen einer Zellbibliothek layoutabhängig die möglichen Fehlfunktionen bestimmt, die durch Fertigungsfehler verursacht werden können. Eingabe für das Verfahren sind neben dem Layout einer Zelle die Prozeßparameter und die Defektverteilungen, Ausgabe sind die realistischen Fehlfunktionen mit ihren Auftrittswahrscheinlichkeiten. Damit können Testerzeugung und Testablauf beschleunigt, schwer testbare Fehler bestimmt und ihre Ursachen lokalisiert und beseitigt werden.