Die Leitfähigkeit ultradünner, durch Tantalaufdampfung im Vakuum gewonnener Schichten

Abstract

In der vorliegenden Arbeit wurde die Abhängigkeit der Leitfähigkeit von der Glühtemperatur bei ultradünnen Schichten untersucht, die mit Hilfe von Tantalaufdämpfung im Hochvakuum gewonnen wurden.