Anwendung der synthetischen Holografie in der Meßtechnik

Abstract

Ein wichtiges Einsatzgebiet ist die Prüfung asphärischer Flächen mit computergenerierten Hologrammen. Darüber wird in diesem Beitrag besonders berichtet. Asphärische Flächen werden zunehmend in optischen Geräten und Systemen zur Realisierung extremer Eigenschaften bezüglich Öffnungsverhältnis und Abbildungsfehlerkorrektur verwendet. Die Herstellung derartiger Flächen erfordert zwangsläufig ein Meßgerät, das eine Qualitätskontrolle der erreichten Flächenform mit Genauigkeiten von 0,1 μm und besser ermöglicht. Die geforderten Genauigkeiten liefern interferometrische Meßmethoden, die außerdem eine visuelle und quantitative Beurteilung der gesamten Fläche erlauben.