Erfassung und Modellierung komplexer Funktionsfehler in Mikroelektronik-Bauelementen

dc.contributor.authorStern, Olafde
dc.contributor.authorWunderlich, Hans-Joachimde
dc.date.accessioned2012-04-17de
dc.date.accessioned2016-03-31T11:44:35Z
dc.date.available2012-04-17de
dc.date.available2016-03-31T11:44:35Z
dc.date.issued1992de
dc.description.abstractEs wird ein Verfahren vorgestellt, das für die Grundzellen einer Zellbibliothek layoutabhängig die möglichen Fehlfunktionen bestimmt, die durch Fertigungsfehler verursacht werden können. Eingabe für das Verfahren sind neben dem Layout einer Zelle die Prozeßparameter und die Defektverteilungen, Ausgabe sind die realistischen Fehlfunktionen mit ihren Auftrittswahrscheinlichkeiten. Damit können Testerzeugung und Testablauf beschleunigt, schwer testbare Fehler bestimmt und ihre Ursachen lokalisiert und beseitigt werden.de
dc.identifier.other369504216de
dc.identifier.urihttp://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-72973de
dc.identifier.urihttp://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/7920
dc.identifier.urihttp://dx.doi.org/10.18419/opus-7903
dc.language.isodede
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessde
dc.subject.classificationFehlermodell , Integrierte Schaltung , Fertigungskontrollede
dc.subject.ddc621.3de
dc.titleErfassung und Modellierung komplexer Funktionsfehler in Mikroelektronik-Bauelementende
dc.typeconferenceObjectde
ubs.fakultaetFakultätsübergreifend / Sonstige Einrichtungde
ubs.institutSonstige Einrichtungde
ubs.opusid7297de
ubs.publikation.sourcePfleiderer, Hans-Jörg (Hrsg.): Mikroelektronik für die Informationstechnik : Vorträge der ITG-Fachtagung. Berlin : VDE-Verl., 1992 (ITG-Fachbericht 119). - ISBN 3-8007-1830-8, S. 117-122de
ubs.publikation.typKonferenzbeitragde

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