A simplified multi-wavelength ESPI contouring technique based on a diode laser system. 2, Automatic fringe analysis

Abstract

A quantitative fringe analyses of interference patterns generated by a multi-wavelength laser diode ESPI contouring system is discussed. The goal is the accurate determination of the topography of an object with steep surface. The phase change related to the surface geometry is calculated with phase-shifting techniques and the results with different contour sensitivities are presented. Some limitations of this ESPI contouring system are also considered from the point of view of practical applications. Eine quantitative Streifenauswertung von Interferogrammen, generiert mit Multiwellenlänge, wird gezeigt. Das Ziel ist eine genaue Bestimmung der Topographie eines Objekts mit steiler Oberfläche. Die Phasenänderungen in Beziehung mit der Oberfläche wurden mit Phasenschiebungstechnik ausgewertet und die Resultate mit verschiedenen Kontour-Empfindlichkeiten werden gezeigt. Einige Beschränkungen dieses ESPI-Kontursystems wurden im Hinblick auf die praktische Anwendung analysiert.