Durch Abscheidung ionisierter Cluster gewonnene Solarzellen

Abstract

Das Verfahren zur Abscheidung ionisierter Cluster aus dem Strahl wurde bei der Erzeugung ohmscher Kontakte auf Siliziumsubstrat angewendet. Es zeigt sich, daß die elektrischen und mechanischen Eigenschaften der Elemente verbessert werden können, wenn Silber ohne Abscheidung von Mehrschichtfilmen oder Temperverfahren auf Substratflächen des n- und p-Typs abgeschieden werden.