Kohärent-optische Verfahren in der Oberflächenmeßtechnik

Abstract

Zur Bewegungs-, Verformungs- und Schwingungsmessung eignen sich Verfahren basierend auf Interferometrie, Holografie und dem Specklephänomen. Diese Verfahren sind schon länger bekannt. Ihr Einsatz profitierte erst von der Entwicklung von Festkörperspeichern und leistungsfähigen Rechnern, aber auch der Laserentwicklung. Auch die entsprechende Software steht inzwischen zur Verfügung. Dies hat den kohärenten Verfahren im praktischen Einsatz insbesondere für den industriellen Einsatz zum Durchbruch verholfen. Weitere Arbeiten werden den Einsatz kohärent-optischer Verfahren in rauherer Industrieumgebung ermöglichen. Speckletechniken werden dazu besonders weiterentwickelt, da sie vielfach weniger störanfällig sind als holografische. For displacement, deformation and vibration analysis, interferometry, holography and speckle techniques are becoming useful tools. The techniques have taken advantage of the development of solid state detectors and powerful small computers with the appropriate frame grabbers as well as small and rugged lasers. The appropriate software is ready. Threrefore, coherent optical techniques can more frequently be applied in industrial environments. It turns out that speckle techniques are not more sensitive to environmental disturbancies than holographic techniques.