Verfahren zur optischen Rauheitsmessung und Mikroprofilometrie

Abstract

In diesem Beitrag werden wegen der Kürze der Darstellung nur einige der bekannten Verfahren behandelt. Zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, die im Institut für Technische Optik Stuttgart zur Zeit bearbeitet werden und ein Verfahren der integralen Rauheitsmessung, das in unserem Institut entwickelt wurde, werden ausführlicher beschrieben.