Wegmess-System für Miniatur-Linearmotoren (SensMiLi)

Abstract

Es wird ein neuartiges Prinzip für ein optisch absolut codiertes Wegmess-System vorgestellt, das auf der Beugung von Licht beruht. Optimiert für die Integration in Miniatur-Linearmotoren soll es diese zu hochdy- namischen, mikrometergenauen Bewegungen in Reinräumen befähigen. Zum ersten Mal wird gezeigt wie q-näre Pseudo-Zufalls-Sequenzen durch optische Beugung codiert werden können und so u.a. Verbesserungen bzgl. Code-Effizienz und Integrationsfähigkeit ermöglichen. A novel principle for an optical absolute position encoder is presented which is based on the diffraction of light. Optimized for the integration into miniature linear motors, the encoder is designed to enable highly dynamic, micrometer precise positioning in clean room environments. For the first time it is shown how q-ary pseudo-random-sequences can be coded by optical diffraction, enabling improvements in e. g. code-efficiency and ability of integration.