Untersuchung der CMOS-kompatiblen Materialien Aluminium, Nickel, Titan, Germanium und Germanium-Zinn für plasmonische Anwendungen

Abstract

In dieser Arbeit wurden mehrere Materialien auf ihre Tauglichkeit für plasmonische Anwendungen untersucht. Dazu wurden Kammantennen aus Ge/GeSn sowie Nickel und Titan hergestellt und auf ihre Eignung als Pixel für thermographische Anwendungen untersucht. Zudem wurden Aluminium-Nanolochgitter hergestellt, welche als Brechungsindexsensoren und Biosensoren eingesetzt werden können.