Diffraktive Elemente für die Lasermaterialbearbeitung

Abstract

Es wird ein Verfahren zur Berechnung von schräg beleuchteten Beugungsstrukturen vorgestellt. Das Verfahren ist für die Erzeugung von Fokuskurven geeignet. Die berechnete Beugungsstruktur wurde mit einem Mehrmaskenprozess durch reaktives Ionenstrahlätzen in Silizium hergestellt. Mit einem vierstufigen diffraktiven Element wird eine Effizienz von 73% erreicht. Die erforderlichen Tiefen der Beugungsstruktur von 5,6µm können mit einer Genauigkeit von 20nm hergestellt werden. Kurzzeitig können die DE mit einer Strahlleistung von 1kW belastet werden. Die Strahlungsfestigkeit läßt sich durch die Kühlung der DE erhöhen. Zur Steigerung der Beugungseffizienz der DE muß die Anzahl der Quantisierungsstufen erhöht werden.