Plasmonische Strukturen auf Ge-Photodioden zur Integration von kollinearen Biosensoren

Abstract

Die Arbeit betrachtet unterschiedliche integrierte kollineare refraktive plasmonische Sensoren auf der Basis von Ge-Photodioden. Die plasmonischen Strukturen werden dabei in silizium-kompatibler Technologie direkt auf der Photodiode realisiert. Anhand des Herstellungsablaufs und elektro-optischer Messungen wird die Eignung der einzelnen Konzepte hinsichtlich der Anwendbarkeit in der refraktiven Biosensorik diskutiert.