Browsing by Author "Pahlke, Michael"

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    Design of diffractive optical elements for CO2-laser material processing
    (1993) Haupt, Christoph; Pahlke, Michael; Jäger, Ernst; Tiziani, Hans J.
    In this paper we report on the design of diffractive optical elements (DOEs) for high power laser radiation. We modified the Fourier transform algorithm, which allows hologram calculation also for reflective type Kinoforms considering the tilted arrangement. To achieve light weighted DOEs which are resistend against intense laser radiation reflective DOEs in silicon were fabricated. The elements have been investigated with respect to the diffraction efficiency and the absorption values.
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    Diffraktive Elemente für die Lasermaterialbearbeitung
    (1993) Pahlke, Michael; Haupt, Christoph; Tiziani, Hans J.
    Es wird ein Verfahren zur Berechnung von schräg beleuchteten Beugungsstrukturen vorgestellt. Das Verfahren ist für die Erzeugung von Fokuskurven geeignet. Die berechnete Beugungsstruktur wurde mit einem Mehrmaskenprozess durch reaktives Ionenstrahlätzen in Silizium hergestellt. Mit einem vierstufigen diffraktiven Element wird eine Effizienz von 73% erreicht. Die erforderlichen Tiefen der Beugungsstruktur von 5,6µm können mit einer Genauigkeit von 20nm hergestellt werden. Kurzzeitig können die DE mit einer Strahlleistung von 1kW belastet werden. Die Strahlungsfestigkeit läßt sich durch die Kühlung der DE erhöhen. Zur Steigerung der Beugungseffizienz der DE muß die Anzahl der Quantisierungsstufen erhöht werden.
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    Holographisch-optische Elemente zur Strahlformung : Teilprojekt A1
    (1993) Haupt, Christoph; Pahlke, Michael; Jäger, Ernst; Tiziani, Hans J.
    Ziel dieses Teilprojekts ist die Entwicklung von holographisch-optischen Elementen (HOEs) zur Strahlformung in der Lasermaterialbearbeitung mit C0 2-Hochleistungslasern. Es werden Berechnungs- und Herstellungsverfahren für die beugenden Strukturen der HOEs untersucht, mit denen die Erzeugung verschiedener Intensitätsverteilungen auf dem Werkstück möglich ist. Solche speziell an den Bearbeitungsprozess angepaßten Intensitätsverteilungen sind durch refraktive Optiken nur mit großem Aufwand zu realisieren.