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Open Access
Mikro-Profilometrie zur Bestimmung der Topographie und Rauheit technischer Oberflächen mittels Heterodyn-Laserinterferometrie
(1989) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.
Ein Heterodyn-Profilometer zur Messung der Rauheit polierter und feingeschliffener Oberflächen und zur Formmessung wird beschrieben. Die Vertikal- oder Höhenauflösung liegt bei 0,5 nm, der Meßbereich für Formmessungen an glatten Oberflächen bei 40 pm bei einer maximalen Abtastlänge von 300 mm. Die Lateralauflösung kann je nach Aperturausleuchtung bis zu 0,5 pm eingestellt werden. Anwendungen und Grenzen werden gezeigt, Formeln zur Lateralauflösung und zur Erfassung von Phasensprüngen sowie Profilhöhen-Übertragungsfunktionen werden diskutiert.
Open Access
Optical methods of measuring rough surfaces
(1989) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.
The statistical parameters of surfaces to be measured for industrial applications vary over several orders of magnitude. Surfaces with large slopes or edges are particularly difficult to be recorded. Some measuring methods developed in our laboratory are compared and the range of applications are discussed. For polished and fine ground glass and metal surfaces a heterodyne profilometer with a vertical resolution of 0.5 nm, lateral resolution of 0.6 μm, and large scanning length is discussed. The interferometer can be changed from single- to double-pass operation by rotation of a quarter-wave-plate. For rougher surfaces a profilometer of the photometric-balance type with resolution Rq < 4 nm and dynamic range of 20 μm and an interference microscope with automated fringe evaluation is described. An integral white light roughness sensor covers the roughness range 0.04μm to 10μm and measures independently mean roughness and autocorrelation width.
Open Access
Optische Mikroprofilometrie und Rauheitsmessung
(1987) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.
Es werden moderne optische Verfahren zur berührungslosen Oberflächentopographie und Rauheitsmessung beschrieben und ihre Leistungsfähigkeit anhand neuerer Messungen und Analysen diskutiert. Dabei werden zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, eine schnelle 3-D-Darstellung der Oberflächentopographie mit automatischer Interferenzstreifenauswertung, kohärente Streuverfahren und ein integrales Weißlicht-Kohärenzverfahren ausführlich behandelt. Außerdem werden eine neue Doppelpaß-Strahlenführung und Ausdrücke für die Erfassung der Lateralauflösung in Abhängigkeit von der numerischen Apertur und dem Ausleuchtungsverhältnis angegeben.
Open Access
Verfahren zur optischen Rauheitsmessung und Mikroprofilometrie
(1985) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.
In diesem Beitrag werden wegen der Kürze der Darstellung nur einige der bekannten Verfahren behandelt. Zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, die im Institut für Technische Optik Stuttgart zur Zeit bearbeitet werden und ein Verfahren der integralen Rauheitsmessung, das in unserem Institut entwickelt wurde, werden ausführlicher beschrieben.