Auflistung nach Autor Letzkus, Florian
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Erscheinungsdatum | Titel | Autor(en) |
---|---|---|
2003 | Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie | Letzkus, Florian |
Erscheinungsdatum | Titel | Autor(en) |
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2003 | Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie | Letzkus, Florian |