05 Fakultät Informatik, Elektrotechnik und Informationstechnik
Permanent URI for this collectionhttps://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/6
Browse
1 results
Search Results
Item Open Access Innovative Verfahren zur Erweiterung der Mess- und Prüftechnik von MMICs(2003) Berger, Niels Helge; Landstorfer, Friedrich M. (Prof. Dr.-Ing.)Im Mittelpunkt der vorliegenden Arbeit steht die Erweiterung der Mess- und Prüftechnik von MMICs hinsichtlich der Lokalisierung von Design- oder Schaltungsfehlern während der Prototypen-Phase. Besondere Aufmerksamkeit wird auf die Vermeidung von Störeinflüssen (auf das Testobjekt) durch die Messung selbst sowie auf eine Berücksichtigung der Schaltungsstruktur zur bestmöglichen Ortsauflösung in Hinblick auf die Fehler-Lokalisierung gelegt. Ein Hindernis für zeitnahe Entwicklungszyklen im Bereich der Mikrowellen- und Hochfrequenz-Komponenten ist das Fehlen innovativer Hilfsmittel zur umfassenden Analyse neuer Schaltungs-Komponenten auf potenzielle Fehlfunktionen. Bisherige Messtechniken sind entweder kontaktgebunden (an zuvor festgelegte Messpunkte) und damit sowohl wenig flexibel als auch unzuverlässig, da die gesuchten Schaltungsfehler von dem (durch die Messkontaktierung) verursachten Fehlverhalten nicht immer eindeutig zu unterscheiden sind oder erlauben es nur eine Fehlfunktion festzustellen, ohne diese lokalisieren zu können. Die vorgestellte Erweiterung der Messmöglichkeiten bei MMICs erstreckt sich auf eine Ortsauflösung, die im µm-Bereich liegt, auf die Verminderung bzw. Kontrollierbarkeit des Störeinflusses der Messung auf das Testobjekt sowie auf den "Informationsgehalt" der Messdaten, die mittels inverser Feldtransformation einen Rückschluss auf Betrag, Phase und Richtung des Signalflusses zulassen. Zentrale Idee dieses Ansatzes ist die Kombination aus einem nahfeldoptischen Mikrokop (zur Berücksichtigung feiner Oberflächenstrukturen) und elektromagnetischer Nahfeldmesstechnik relativ niedriger Auflösung mit dem Ziel einer hochauflösenden Nahfeldmessung. Die feldtheoretische Verarbeitung der Messdaten zur Bestimmung und "Bildschärfung" der Signalflussverteilung ermöglicht in einem zweiten Schritt eine Lokalisierung von Störstellen. Beginnend mit den Grundlagen im Bereich der elektromagnetischen Feldtheorie soll in Kapitel 2 der Weg, zur Bestimmung einer Signalflussverteilung auf einer Schaltung aus den Feldstärkeverteilungen im Nahfeld dicht über dieser Schaltung unter Berücksichtigung der Materialeigenschaften, aufgezeigt werden. Die Kenngrößen von Nahfeldsonden werden behandelt, um später die Qualität der realisierten Nahfeldsonden quantifizieren und bewerten zu können. Im Anschluss an diese feldtheoretischen Grundlagen erfolgt eine grundlegende Einführung in die Schaltungstechnik im Bereich der Mikrowellen- und Mikrostreifenleitungs-Technik, um die Alternativen beim Entwurf und bei der Realisierung von Anpassungsverstärkern für die Feldsonden aufzuzeigen. Ein Einblick in die Regelungstechnik zur Beschreibung des Verfahrens zur Nahfeld-optischen Berücksichtigung der Oberfächenstruktur schließt dieses Kapitel ab. Die "erweiterte Messtechnik", die im Mittelpunkt dieser Arbeit steht, wird anschließend in Kapitel 3 konkret an Hand des realiserten Prototyps in ihrem Aufbau, ihren Komponenten und deren Funktionen im Zusammenspiel ausführlich behandelt. Die numerischen Methoden fokusieren sich in Kapitel 4 zum Einen auf die analytisch nicht lösbare Rücktransformation von beliebigen Funktionen aus dem Fourier-Bessel-Oberbereich und zum Anderen auf die inverse Feldtransformation zur Bestimmung einer äquivalenten Signalflussverteilung aus gemessenen (und damit verrauschten) Feldstärkeverteilungs-Messdaten unter Berücksichtigung der Substrat-Parameter. Die Berechnungs- und Realisierungsmöglichkeiten sowie die Ergebnisse der Modellierung und des Aufbaus der Feldsonden bzw. deren Anpassungsverstärker werden in Kapitel 5 beschrieben. Die Entwurf-Kriterien und die Dimensionierung der Mikrowellen-Schaltungen werden ebenso behandelt, wie die Verfahren und Messgrößen zur quantitativen Charakterisierung der Feldsonden mittels Kalibration. Zur Berücksichtigung der Oberflächenstruktur der zu charakterisierenden Schaltungen dienen Verfahren aus dem Bereich der Regelungstechnik und der Nahfeld-Optik. Die Beschreibung eines hier genutzten physikalischen Effektes aus der Nahfeld-Optik steht im Mittelpunkt der Betrachtung von Kapitel 6, wie auch die Konzeption und digitale Realisierung eines Fuzzy-Regelkreises zur Abtastung des Höhenprofils mit Hilfe eines digitalen Signalprozessors. Die Ergebnisse von Messungen und deren Bewertung sowie die Perspektiven der vorgestellten Messtechnik werden anhand ausgewählter Anwendungen in Kapitel 7 zusammengefasst. Hierbei steht die Vorstellung der erreichbaren Auflösung, Genauigkeit, Dynamik sowie des Störeinflusses auf die untersuchte Schaltung ebenso im Mittelpunkt, wie die Untersuchung einer aktiven integrierten Schaltung. Erstere erfolgt durch den Vergleich zwischen Messung und Berechnung -- basierend auf der Untersuchung einer einfachen passiven Schaltung. Kapitel 8 fasst die Erkenntnisse und Erfahrungen zusammen und schließt diese Arbeit mit einem Ausblick auf mögliche künftige Entwicklungen ab.