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http://dx.doi.org/10.18419/opus-4355
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DC Element | Wert | Sprache |
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dc.contributor.author | Leonhardt, Klaus | de |
dc.contributor.author | Jordan, Hans-Joachim | de |
dc.contributor.author | Tiziani, Hans J. | de |
dc.date.accessioned | 2011-03-17 | de |
dc.date.accessioned | 2016-03-31T08:16:30Z | - |
dc.date.available | 2011-03-17 | de |
dc.date.available | 2016-03-31T08:16:30Z | - |
dc.date.issued | 1991 | de |
dc.identifier.other | 349032238 | de |
dc.identifier.uri | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61511 | de |
dc.identifier.uri | http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4372 | - |
dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.18419/opus-4355 | - |
dc.description.abstract | A new instrumental concept for surface measurement is described. In Micro-Ellipso-Height-Profilometry three independent profiles h(x), ψ(x) and Δ(x) of a surface are measured from one diffraction limited scanning spot. The basic equations for the extraction of these three quantities are derived and first results are discussed. | en |
dc.language.iso | en | de |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | de |
dc.subject.classification | Profil <Oberfläche> , Oberflächenstruktur | de |
dc.subject.ddc | 530 | de |
dc.title | Micro-ellipso-height-profilometry | en |
dc.type | article | de |
ubs.fakultaet | Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik | de |
ubs.institut | Institut für Technische Optik | de |
ubs.opusid | 6151 | de |
ubs.publikation.source | Optics communications 80 (1991), S. 205-209. URL http://dx.doi.org./10.1016/0030-4018(91)90251-8 | de |
ubs.publikation.typ | Zeitschriftenartikel | de |
Enthalten in den Sammlungen: | 07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik |
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