Contouring by modified dual-beam ESPI based on tilting illumination beams

Abstract

A new contouring method by modified dual-beam electronic speckle pattern interferometry is proposed. Instead of tilting test object as used in previous single, wavelength techniques by ESPI, we introduce a tilt to the illuminating beams in order to obtain the contour fringe patterns. The most attractive feature of this technique is the possibility of contouring a stationary object so that it would be a more promising method in practical engineering metrology. The theoretical and experimental results show good agreement.

Eine neue Konturing-Methode mit einem modifizierten elektronischen Zweistrahl-Speckleinterferometer wird vorgeschlagen. Anstatt wie bei den üblichen Einwellenlängen-Techniken beim ESPI das Testobjekt zu verdrehen, neigen wir zur Erzeugung von Konturstreifen den Beleuchtungsstrahl. Der attraktivste Vorteil dieser Technik ist die Möglichkeit, ein stationäres Objekt zu konturieren. Damit wird diese Methode in der praktischen Meßtechnik sehr vielversprechend. Theorie und Experiment zeigen eine gute Übereinstimmung.