Diffraktive Elemente für die Lasermaterialbearbeitung

Pahlke, Michael; Haupt, Christoph; Tiziani, Hans J.

Bitte benutzen Sie diese Kennung, um auf die Ressource zu verweisen: http://dx.doi.org/10.18419/opus-4393

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DC Element	Wert	Sprache
dc.contributor.author	Pahlke, Michael	de
dc.contributor.author	Haupt, Christoph	de
dc.contributor.author	Tiziani, Hans J.	de
dc.date.accessioned	2011-03-21	de
dc.date.accessioned	2016-03-31T08:16:37Z	-
dc.date.available	2011-03-21	de
dc.date.available	2016-03-31T08:16:37Z	-
dc.date.issued	1993	de
dc.identifier.other	366761811	de
dc.identifier.uri	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-61926	de
dc.identifier.uri	http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/4410	-
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.18419/opus-4393	-
dc.description.abstract	Es wird ein Verfahren zur Berechnung von schräg beleuchteten Beugungsstrukturen vorgestellt. Das Verfahren ist für die Erzeugung von Fokuskurven geeignet. Die berechnete Beugungsstruktur wurde mit einem Mehrmaskenprozess durch reaktives Ionenstrahlätzen in Silizium hergestellt. Mit einem vierstufigen diffraktiven Element wird eine Effizienz von 73% erreicht. Die erforderlichen Tiefen der Beugungsstruktur von 5,6µm können mit einer Genauigkeit von 20nm hergestellt werden. Kurzzeitig können die DE mit einer Strahlleistung von 1kW belastet werden. Die Strahlungsfestigkeit läßt sich durch die Kühlung der DE erhöhen. Zur Steigerung der Beugungseffizienz der DE muß die Anzahl der Quantisierungsstufen erhöht werden.	de
dc.language.iso	de	de
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	de
dc.subject.classification	Diffraktives optisches Element , Laser	de
dc.subject.ddc	620	de
dc.title	Diffraktive Elemente für die Lasermaterialbearbeitung	de
dc.type	conferenceObject	de
ubs.fakultaet	Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik	de
ubs.institut	Institut für Technische Optik	de
ubs.opusid	6192	de
ubs.publikation.source	Waidelich, Wilhelm (Hrsg.): Laser in der Technik : Vorträge des 11. Internationalen Kongresses Laser 93. Berlin : Springer, 1994. - ISBN 3-540-57444-1, S. 679-682	de
ubs.publikation.typ	Konferenzbeitrag	de
Enthalten in den Sammlungen:	07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik

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