Optische Interferometrie in der Meßtechnik

Abstract

Die Interferometrie ist ein wichtiges und vielseitiges Werkzeug für die Präzisionsmeßtechnik geworden. Dazu haben die Enwicklung des Lasers als kohärente Lichtquelle und die Methoden der automatischen Streifenauswertung wesentlich beigetragen. Sie tragen einen entscheidenden Anteil am Erfolg beim industriellen Einsatz der Verfahren. Hochauflösende CCD-Arrays, aber auch die rasante Entwicklung von leistungsfähigen Kleinrechnern machen den Einsatz der laseroptischen Verfahren attraktiv. Mehr Information kann aus den Interferogrammen entnommen werden, was zu größeren Meßbereichen und Meßgenauigkeiten führt. Interferometrische Verfahren sind einsatzbar zur hochgenauen Streckenvermessung bzw. der Messung von Verschiebungen bis 50 m und zur Mikrostrukturvermessung mit Auslösungen im Bereich von Nanometern und besser. Interferometrie bietet sich auch zur Qualitätssicherung und Oberflächenvermessung an, aber auch in der Spektroskopie und zur Geschwindigkeitsmessung.