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http://dx.doi.org/10.18419/opus-6420
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DC Element | Wert | Sprache |
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dc.contributor.author | Ljutovic, Abram Srulevic | de |
dc.contributor.other | Ludwig, Sören (Übersetzerin) | de |
dc.contributor.other | Pertschi, Ottmar (Übersetzer) | de |
dc.date.accessioned | 2013-02-19 | de |
dc.date.accessioned | 2016-03-31T10:26:04Z | - |
dc.date.available | 2013-02-19 | de |
dc.date.available | 2016-03-31T10:26:04Z | - |
dc.date.issued | 1999 | de |
dc.identifier.other | 381023184 | de |
dc.identifier.uri | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-82081 | de |
dc.identifier.uri | http://elib.uni-stuttgart.de/handle/11682/6437 | - |
dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.18419/opus-6420 | - |
dc.description.abstract | Hier werden charakteristische Forschungsergebnisse verschiedener Autoren dargestellt, die die Vorgänge der Metallschichtabscheidung und Kristallisation von Halbleiter-Epitaxieschichten aus Ionenmolekularströmen untersucht haben. Dabei widmen wir den Untersuchungen zum Wachstum von Halbleiter-Einkristallschichten besondere Aufmerksamkeit. | de |
dc.language.iso | de | de |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | de |
dc.subject.classification | Ion , Epitaxie | de |
dc.subject.ddc | 530 | de |
dc.title | Die wichtigsten Gesetzmäßigkeiten des Wachstums von Filmen und epitaktischen Schichten aus Ionenmolekularströmen | de |
dc.type | report | de |
ubs.fakultaet | Zentrale Universitätseinrichtungen | de |
ubs.institut | IZUS Universitäres Bibliothekssystem (UB) | de |
ubs.opusid | 8208 | de |
ubs.publikation.source | Originaltext erschienen in: Ljutovic, Abram Srulevic: Ionno-aktivirovannaja kristallizacija plenok. Taskent : FAN, 1982, S. 79-92 | de |
ubs.publikation.typ | Verschiedenartige Texte | de |
Enthalten in den Sammlungen: | 13 Zentrale Universitätseinrichtungen |
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Datei | Beschreibung | Größe | Format | |
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