Akustische Schichtmikroskopie durch Pulsmessungen im ns-Bereich

Abstract

Im folgenden soll über Untersuchungen von Ladungs- und Polarisationsschichtungen in dielektrischen Folienmaterialien berichtet werden, sowie über deren zeitliche Entwicklung in der Polarisationsphase. Ein erster Vorschlag, akustische Sprungfunktionen oder Druckpulse für eine Analyse von Ladungsverteilungen einzusetzen, stammt von Laurengeau und Mitarbeitern. Zum Zeitpunkt des Vorschlages existierten noch nicht ausreichend gute elektronische und akustische Meßverfahren, um die erforderliche hohe Auflösung realisieren zu können. Inzwischen ist durch die Verfügbarkeit von Verstärkern im GHz-Bereich, aber auch durch neue Methoden der Anregung von akustischen Druckstufen bzw. von Druckpulsen eine Analyse von Schichtstrukturen im Auflösungsbereich von μm möglich.