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Auflistung nach Institut Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)

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ErscheinungsdatumTitelAutor(en)
2017Ablenk-Systeme für die Multi-Elektronenstrahllithografie auf Basis CMOS-kompatibler FertigungsprozesseJurisch, Michael
2000Aktive Siliziumträger zur Verbesserung der Prüfbarkeit von Multichip-SystemenWerkmann, Hubert
2006Fixed-Pattern-Korrektur von HDRC-BildsensorenSchneider, Verena
2021An in-cell integrated system for the real-time monitoring of Lithium-ion battery cellsSaidani, Fida
2022Integrated optoelectronic devices using lab‐on‐fiber technologyRicciardi, Armando; Zimmer, Michael; Witz, Norbert; Micco, Alberto; Piccirillo, Federica; Giaquinto, Martino; Kaschel, Mathias; Burghartz, Joachim; Jetter, Michael; Michler, Peter; Cusano, Andrea; Portalupi, Simone Luca
2003Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der NanolithografieLetzkus, Florian
2024Monitoring the state of charge of vanadium redox flow batteries with an EPR-on-a-Chip dipstick sensorKünstner, Silvio; McPeak, Joseph E.; Chu, Anh; Kern, Michal; Dinse, Klaus-Peter; Naydenov, Boris; Fischer, Peter; Anders, Jens; Lips, Klaus
2003Die SOI Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium MembranmaskenButschke, Jörg
2020Spatial ultrasound modulation by digitally controlling microbubble arraysMa, Zhichao; Melde, Kai; Athanassiadis, Athanasios G.; Schau, Michael; Richter, Harald; Qiu, Tian; Fischer, Peer
2007Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-ElektromechanikPritschow, Marcus
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