Universität Stuttgart
OPUS - Online Publikationen der Universität Stuttgart
Auflistung nach Institut Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)
Anzeige der Treffer 1 bis 8 von 8
Erscheinungsdatum | Titel | Autor(en) |
2017 | Ablenk-Systeme für die Multi-Elektronenstrahllithografie auf Basis CMOS-kompatibler Fertigungsprozesse | Jurisch, Michael |
2000 | Aktive Siliziumträger zur Verbesserung der Prüfbarkeit von Multichip-Systemen | Werkmann, Hubert |
2006 | Fixed-Pattern-Korrektur von HDRC-Bildsensoren | Schneider, Verena |
2021 | An in-cell integrated system for the real-time monitoring of Lithium-ion battery cells | Saidani, Fida |
2003 | Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie | Letzkus, Florian |
2003 | Die SOI Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium Membranmasken | Butschke, Jörg |
2020 | Spatial ultrasound modulation by digitally controlling microbubble arrays | Ma, Zhichao; Melde, Kai; Athanassiadis, Athanasios G.; Schau, Michael; Richter, Harald; Qiu, Tian; Fischer, Peer |
2007 | Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik | Pritschow, Marcus |