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Open Access
Charakterisierung von Eigenspannungen in Multi-Layer-Systemen
(1990) Hiltmann, Kai
Die prozessinduzierten mechanischen Spannungen an Strukturen eines integrierten Halbleiterspeichers wurden mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode berechnet. Hierzu wurden zunächst aus der Literatur die mechanischen und thermischen Materialdaten von Silizium, Siliumoxid und Siliziumnitrid recherchiert. Für die Prozessschritte (i) Abscheidung von CVD-Oxid auf Silizium, (ii) CVD-Oxid plus LPCVD-Nitrid, (iii)Grabenätzung und Füllung mit Polysilizium und (iv) LOCOS-Oxidation wurden die entstehenden Spannungen berechnet und Fließprozesse abgeschätzt.
Open Access
Verbesserung der Akzeptanz und Nutzung von Hochschulschriftenservern, dargestellt am Beispiel des Online Publikationsverbunds Stuttgart
(2004) Gattuso, Maria
Ausgehend von dem Beispiel des Online Publikationsverbunds Stuttgart behandelt diese Diplomarbeit die Akzeptanz und Nutzung von Hochschulschriftenservern. Der Fokus der Arbeit liegt hierbei auf der Einstellung wissenschaftlicher Autoren. An Hand einer quantitativen und qualitativen Umfrage, Interviews, statistischer Daten sowie einer Lite-raturanalyse werden die Problemfelder des Publikationskanals Hochschulschriftenserver ermittelt. Basierend auf diesen Ergebnissen, werden Lösungsstrategien zur Verbesse-rung der Akzeptanz und Nutzung des Online Publikationsverbunds Stuttgart vorgestellt. Es handelt sich um die überarbeitete Version der Originalarbeit.