07 Fakultät Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik
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Item Open Access Mikro-Profilometrie zur Bestimmung der Topographie und Rauheit technischer Oberflächen mittels Heterodyn-Laserinterferometrie(1989) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.Ein Heterodyn-Profilometer zur Messung der Rauheit polierter und feingeschliffener Oberflächen und zur Formmessung wird beschrieben. Die Vertikal- oder Höhenauflösung liegt bei 0,5 nm, der Meßbereich für Formmessungen an glatten Oberflächen bei 40 pm bei einer maximalen Abtastlänge von 300 mm. Die Lateralauflösung kann je nach Aperturausleuchtung bis zu 0,5 pm eingestellt werden. Anwendungen und Grenzen werden gezeigt, Formeln zur Lateralauflösung und zur Erfassung von Phasensprüngen sowie Profilhöhen-Übertragungsfunktionen werden diskutiert.Item Open Access Micro shape and rough surface analysis by fringe projection(1993) Leonhardt, Klaus; Droste, Ulrich; Schön, Stefan; Voland, Christoph; Tiziani, Hans J.A new microscopic fringe projection system is described. Projection of the grating and imaging of the fringes is accomplished by the same objective. The spectrum of the binary grating is spatially filtered and projected into the aperture with a lateral shift. This leads to telecentric projection and imaging under oblique incidence. Topographies of specularely as well as diffusely reflecting surfaces can be obtained. The measurement of rough, technical surfaces is demonstrated.Item Open Access Optical methods of measuring rough surfaces(1989) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.The statistical parameters of surfaces to be measured for industrial applications vary over several orders of magnitude. Surfaces with large slopes or edges are particularly difficult to be recorded. Some measuring methods developed in our laboratory are compared and the range of applications are discussed. For polished and fine ground glass and metal surfaces a heterodyne profilometer with a vertical resolution of 0.5 nm, lateral resolution of 0.6 μm, and large scanning length is discussed. The interferometer can be changed from single- to double-pass operation by rotation of a quarter-wave-plate. For rougher surfaces a profilometer of the photometric-balance type with resolution Rq < 4 nm and dynamic range of 20 μm and an interference microscope with automated fringe evaluation is described. An integral white light roughness sensor covers the roughness range 0.04μm to 10μm and measures independently mean roughness and autocorrelation width.Item Open Access Verfahren zur optischen Rauheitsmessung und Mikroprofilometrie(1985) Leonhardt, Klaus; Rippert, Karl-Heinz; Tiziani, Hans J.In diesem Beitrag werden wegen der Kürze der Darstellung nur einige der bekannten Verfahren behandelt. Zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, die im Institut für Technische Optik Stuttgart zur Zeit bearbeitet werden und ein Verfahren der integralen Rauheitsmessung, das in unserem Institut entwickelt wurde, werden ausführlicher beschrieben.Item Open Access Holography and speckle techniques for real time displacement deformation and vibration analysis(1980) Tiziani, Hans J.; Klenk, Jürgen; Leonhardt, KlausHolographic interferometry and speckle application are powerful techniques for deformation, displacement and vibration analysis especially when they can be applied in real time. Bismuth Silicon Oxide crystals Bi12SiO20 (BSO) were used for real-time deformation, displacement and vibration analysis using holography and "speckle photography". After a short introduction of holographic interferometry for deformation measurement using BSO crystals, speckle applications for deformation, displacement and vibration analysis in real time will be discussed.